一、激光蝕刻技術技術原理

激光蝕刻的基本原理是將高光束質量的小功率激光(一般為紫外線激光、光纖激光)聚焦在極小的光點上，在焦點上形成高功率密度，使材料瞬間蒸發(fā)，形

成孔、槽、槽，形成極小的功率密度。激光微納切割、切割、腐蝕、鉆孔等工藝。

二、激光蝕刻技術技術特征

以激光非接觸方式加工，高柔性、高速、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦至激光波長級的極小光斑等，在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質量方面，

尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，尤其是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光

化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加

工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”，特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用為“

光化學作用”